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由于擺閥門的腐蝕環境中出色的可靠性，正常運行的過程可以顯著增加，達到更高的產量。半導體制造商正在積極努力降低成本，提高系統運行時間，延長服務時間，并減少日常服務操作所需的時間。首先，他們要求能適應過程。重點是快速吞吐量和高度不同類型的小批量生產。許多控制閥不能滿足所有這些要求。維持一個穩定的過程壓力是另一個血漿中的重要性日益增強的要求，蝕刻和沉積過程。壓力穩定，導致吞吐量的增加，改善微觀結構，并在缺陷數量的減少對加工的圓片。

(2)電動蝶閥經長時間使用后易出現閥芯密封圈磨損、閥桿和閥座損傷的現象，導致閥內氣體泄漏，閥的動作緩慢或不能正常換向等故障。此時，應更換密封圈、閥桿和閥座，或將電動蝶閥換新。